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采用磁控共溅射法制备了系列（Fe65Co35）x（SiO2）1-x纳米磁性颗粒膜，并研究了其微结构和微波特性。结果表明，样品在x=0．5～0．7的宽成分范围内表现出良好的软磁特性，He最大不超过4Oe，电阻率高达103μΩ·cm。样品同时具有良好的高频磁特性，磁谱的共振频率高达2．4GHz，可用于抗电磁干扰和微波吸收材料。HRTEM分析表明，Fe65Co35纳米颗粒均匀地镶嵌在绝缘的SiO2介质中。由于Fe65Co35合金具有较长的交换长度，因此有利于加强磁性颗粒之间的交换耦合作用，使样品获得优