镀膜前离子束清洗对复合材料表面Al膜附着力影响研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:szm2009szm
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在树脂基复合材料表面镀Al膜前,利用Ar离子束对基体表面进行清洗处理,当离子束清洗时间不同或离子束能量不同时,经万能拉伸试验仪、扫描电镜、X射线光电子谱测试发现,Ar离子束能对表面造成溅射现象,如果加大离子束能量,表面有熔融现象;Al和基体之间形成了化学键,但键的多少与镀膜前离子束清洗时间长短、离子束能量大小无关;离子束未作清洗的样品表面Al膜附着力测试值离散性很大,会出现测试值接近0的个别子样,其他样品附着力均大于5 N/mm2。 Before the Al-based film on the surface of the resin-based composite material, the surface of the substrate was cleaned by the Ar ion beam. When the ion beam cleaning time was different or the energy of the ion beam was different, the universal tensile tester, the SEM, the X-ray photoelectron spectroscopy It is found that the Ar ion beam can cause sputtering on the surface. If the energy of the ion beam is increased, the surface has a melting phenomenon. A chemical bond is formed between the Al and the substrate. However, the bond length and the pre-plating ion beam cleaning time, ion beam energy The size of the sample has not been cleaned; the test results of the Al film adhesion on the surface of the sample that has not been cleaned by the ion beam are quite discrete, and the individual sub-samples whose test values ​​are close to zero will appear. The adhesion of other samples is greater than 5 N / mm2.
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