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介绍了SiGe异质结双极晶体管的特点，对SiGe异质结双极晶体管的物理机理进行了讨论，进而分析了影响其可靠性的各种可能N素，总结了目前SiGe HBT可靠性加速寿命试验方法，并进行了比较。
SiGe HBT器件的可靠性技术
【摘 要】
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介绍了SiGe异质结双极晶体管的特点，对SiGe异质结双极晶体管的物理机理进行了讨论，进而分析了影响其可靠性的各种可能N素，总结了目前SiGe HBT可靠性加速寿命试验方法，并进行了比
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室、信息产业部电子第五研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2007年2期
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