溶胶凝胶钽酸锂薄膜热释电红外探测器的设计与制备

• 作 者: 张德银 黄大贵 董政
• 机 构: 电子科技大学机电学院,中国民航飞行学院航空工程学院
• 出 处: 光电工程
• 发表日期: 2006年12期
• 关键词: 钽酸锂薄膜 红外探测器 结构设计 溶胶凝胶 LiTaO3 thin film Infrared detector Structural design So
• 基金项目: 国家自然科学基金项目（60572007）、教育部高等学校博士点专项基金项目（20040614004） This research is supported by the National Science Fund of China （Grant No.60572007） and the fund of Ministry of Education Program of China （Grant No

在带微桥结构的石英玻璃基底上设计了一种新型Al-LiTaO3-ITO红外探测结构。在响应／参考双单元结构框架下，由振动、环境温度变化和日照变化引起的无效信号输出在前置放大电路处被消除掉了。用醋酸锂和乙醇钽作为起始反应物，通过溶胶凝胶工艺生成了对红外敏感的钽酸锂薄膜，并详细讨论了基于钽酸锂薄膜的红外探测器件制备工艺。用ITO衬底作下电极，蒸镀的Al点作上电极，在室温条件下测试了薄膜的介电特性，在1kHz处，介电常数为53．28，在40～10kHz内，介电损耗和介电系数呈下降趋势。器件的电压响应和比探测率测试