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4H-SiC射频MESFET中陷阱参数的提取方法
4H-SiC射频MESFET中陷阱参数的提取方法
来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z1348891
【摘 要】
:
针对4H-SiC射频MESFET中的陷阱效应,采用解析的方法建立陷阱模型,分析了陷阱效应对器件带来的影响,阐述了陷阱的陷落-发射机理,提取了时间常数、陷阱浓度等相关参数.得到的模
【作 者】
:
吕红亮
张义门
张玉明
车勇
王悦湖
【机 构】
:
西安电子科技大学微电子学院,武警工程学院军械运输系
【出 处】
:
物理学报
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
碳化硅
深能级陷阱
频率偏移
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针对4H-SiC射频MESFET中的陷阱效应,采用解析的方法建立陷阱模型,分析了陷阱效应对器件带来的影响,阐述了陷阱的陷落-发射机理,提取了时间常数、陷阱浓度等相关参数.得到的模拟结果能够较好的反映实验结果.
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