【摘 要】
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为了满足工业用振荡一放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求，设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用LC谐振倍压的方式，同时为双腔准分子激光器的充电电容器进
【机 构】
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中国科学院安徽光学精密机械研究所,合肥工业大学电子科学与应用物理学院
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为了满足工业用振荡一放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求，设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用LC谐振倍压的方式，同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电，倍压比为1．87。通过对电源工作时序的调节，实现千赫兹高重频放电激励，在电源输出电压约为1300V时，充电电压精度为±0．18％。结果表明，通过充电电压精度控制单元，对充电电压反馈调节，可以实现充电电压的高精度。
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