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概述国际上微系统研究的现状，探讨微型运载系统的基本组成及其研究内容，指出微型运载系统的研究方法和关键技术，最后阐明深入研究的实际意义。
微型运载系统构成原理的研究
【摘 要】
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概述国际上微系统研究的现状，探讨微型运载系统的基本组成及其研究内容，指出微型运载系统的研究方法和关键技术，最后阐明深入研究的实际意义。
【机 构】
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清华大学精仪系,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1996年3期
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