【摘 要】
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介绍了用可见光光刻后用湿法腐蚀制备ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子点的方法，并用小光点光荧光的方法检测了所制备量子点的均匀性，从理论上给出量子点的尺寸分布，并结合多量子阱阱宽的涨落，分析了荧光峰的
【机 构】
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中科院上海技术物理所红外物理国家开放实验室
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介绍了用可见光光刻后用湿法腐蚀制备ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子点的方法，并用小光点光荧光的方法检测了所制备量子点的均匀性，从理论上给出量子点的尺寸分布，并结合多量子阱阱宽的涨落，分析了荧光峰的线型和展宽机制．
The method of preparing GaAs / AlGaAs quantum dots by wet etching after visible light photolithography is introduced. The uniformity of the prepared quantum dots is detected by the method of small spot fluorescence, and the size distribution of quantum dots is theoretically given. Combined with the fluctuations of the well width of MQWs, the linear and broadening mechanism of the fluorescence peak was analyzed.
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