直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)

• 作 者: 李凤友 卢振武 谢永军 张殿文
• 机 构: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林长春1300
• 出 处: 光子学报
• 发表日期: 2002年05期
• 关键词: 衍射光学元件 极坐标系 计算全息图 coordinate grating applying rotation precisely drawback elimin

介绍了具有直角坐标和极坐标写入系统的激光直写设备 ,给出了该设备制作衍射光学元件的光刻特点

A laser direct writing device with Cartesian coordinates and polar coordinate writing system is introduced, and the lithographic characteristics of the diffractive optical element fabricated by this device are given