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【摘 要】
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研制的用于等离子体浸没离子注入(PIII)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2011年03期
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