CO_2激光气相合成团簇及实时检测

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详细介绍了CO2激光气相产生围簇及实时检测这一新技术,它是激光气相合成和飞行时间质谱技术相结合的产物。应用该技术产生了碳、硅团簇以及碳-硅、氮-硅混合团簇。 This paper introduces in detail the new technology of CO2 laser gas cluster generation and real-time detection, which is the product of laser gas phase synthesis and time-of-flight mass spectrometry. The technology has been used to produce carbon, silicon and carbon-silicon, nitrogen-silicon mixed clusters.
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