强制脉冲CVI沉积C纤维表面涂层的工艺研究

• 作 者: Zhou Qing Dong Shao-Ming Zhang
• 机 构: ChineseAcadSci,GradUnv
• 出 处: 无机材料学报
• 发表日期: 2006年6期
• 关键词: C纤维 SIC涂层 FP-CVI carbon fiber SiC coating FP-CVI
• 基金项目: 国家863项目（2002AA334040）,上海市重大基础研究项目（04DZ14002）

以MTS／H2为前驱物，采用强制脉冲CVI（FP-CVI）方法，进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究，并探讨了其工艺过程．结果表明，在1000-1100℃和（5-25）kPa，沉积得到的β—SiC具有明显的（111）面取向，涂层均匀一致，厚度可控．在实验过程中，随着单次驻留时间和脉冲次数的增加，涂层厚度也随之增加，涂层厚度与脉冲次数成非线性关系．当脉冲次数为300时，C纤维表面沉积SiC层后其质量增加达到36．18％．