【摘 要】
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采用云纹干涉法对混合集成电路金属封装底座 (铜基板 -可伐密封圈结构 )的热变形进行了测试研究 ,在集成电路工作温度范围内的不同温度条件下 ,获得了底座的截面位移场分布及
【机 构】
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首都师范大学物理系!北京100037,首都师范大学物理系!北京100037,清华大学微电子学研究所!北京100084,清华大学工程力学系!北京100084,清华大学工程力学系!北京100084
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采用云纹干涉法对混合集成电路金属封装底座 (铜基板 -可伐密封圈结构 )的热变形进行了测试研究 ,在集成电路工作温度范围内的不同温度条件下 ,获得了底座的截面位移场分布及变形数据 ,并计算了样品的热膨胀率。文中对可伐引线、密封圈的应变特征及其对铜基板热变形的影响进行了讨论 ,并提出了改善封装热应力的途径
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