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随着纳米科技和信息技术的不断发展,表面形貌测量技术也在向着精度更高,速度更快,稳定性更好的方向发展.传统的接触式方法已经不能满足某些特定场合的测量需要,因此非接触光学方法的表面形貌测量技术已成为研究的热点.主要针对国内外表面形貌测量的光学法进行研究和讨论,并预测了未来发展的方向.
光学法表面形貌测量技术
【摘 要】
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随着纳米科技和信息技术的不断发展,表面形貌测量技术也在向着精度更高,速度更快,稳定性更好的方向发展.传统的接触式方法已经不能满足某些特定场合的测量需要,因此非接触光
【机 构】
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哈尔滨工业大学自动化测试与控制系
【出 处】
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光电技术应用
【发表日期】
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2008年02期
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