【摘 要】
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在光交换、光互连及光盘等领域,传感技术和微动控制技术是不可缺少的一部分。对此,我们开发了以光为媒介的微机械和电子技术融为一体的机械光电子学技术。其中(1)微机械加工
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在光交换、光互连及光盘等领域,传感技术和微动控制技术是不可缺少的一部分。对此,我们开发了以光为媒介的微机械和电子技术融为一体的机械光电子学技术。其中(1)微机械加工、(2)光压微动控制技术、(3)微能技术、(4)智能材料等是机械光电子学中不可缺少的关键技术。本文从光的力学作用和物质转换作用的角度,介绍了机械光电子学关键技术的研究状况,即与(1)相关的,利用激光热激励振动,然后采用光干涉检测该振动的光激励振动器的制作方法和特性;与(2)相关的,利用光压(辐射压)使形状各向异性物体旋转驱动;与(3)相关的,用
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