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利用离子注入系统PSⅡ和MEVVA80—10型离子注入机，采用射频磁控溅射和等离子束注入沉积两种技术，制备Ag、Al2O3、PTFE和Al2O3／PTFE纳米复合薄膜。采用XRD、AFM／FFM和纳米探针测试方法，研究5种薄膜改性聚四氟乙烯（PTFE）表面微摩擦学特性的效果。结果表明：在相同磨损测试条件下，离子注入技术制备的Al2O3／PTFE纳米复合薄膜的损伤深度比其他样品的浅，样品的耐磨性至少增加4倍；铝离子注入Al2O3／PTFE纳米复合膜的化学成分主要是Al、F、C、O和N：除C2F4峰外，还存在