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研制了一种可在低电压下工作的新型无阀微泵，该微泵利用有机玻璃（PMMA）制作泵腔，采用了扩散口／喷口的结构，以PDMS作为振动膜，利用微振动马达作为驱动部件。采用ANSYS软件进行有限元分析得到微泵扩散口／喷口的最佳尺寸。对微泵的振动频率和输出流量进行了测试，结果显示：电压为1．0-1．8V时，微泵的输出流量随着电压的升高而增加，当电压为1．8-3．3V时，微泵输出的流量保持稳定，达到150μL／min。该无阀微泵结构简单，驱动电压低，具有良好的性能和低廉的成本。