论文部分内容阅读
介质薄膜是一类重要的电子薄膜。现代常用的介质薄膜种类很多，按其万分可分为无机薄膜、有机薄膜和复合薄膜三类。同一种介质薄膜当制造工艺略有不同时，就会出现性能判别较大的结果，且随着膜厚的减小，这种现象表现得越来越明显。现在介质薄膜的进展可归纳为：（１）成膜技术的提高，其工艺特点是精细、程控和准确；（２）薄膜下限厚度的减小，如陶瓷膜已降到１μｍ，大量生产的高分子聚合物薄膜已降到１００ｎｍ；（３）涌现出了