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在光盘制造过程中,需要使用多种溅射靶材。本文简介溅射靶材的制造及主要应用情况。
光信息存储与溅射靶材
【摘 要】
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在光盘制造过程中,需要使用多种溅射靶材。本文简介溅射靶材的制造及主要应用情况。
【机 构】
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深圳欧莱溅射靶材有限公司
【出 处】
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光盘技术
【发表日期】
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2003年06期
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