【摘 要】
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硅单晶直径进一步增大愈来愈困难多年来，硅单晶直径的尺寸从２英寸，逐步扩大到３英寸、４英寸、５英寸、６英寸、８英寸，目前１２英寸的产品的商品化即将告酷。事实上，圆片的大直径已趋向极限。要
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硅单晶直径进一步增大愈来愈困难多年来，硅单晶直径的尺寸从２英寸，逐步扩大到３英寸、４英寸、５英寸、６英寸、８英寸，目前１２英寸的产品的商品化即将告酷。事实上，圆片的大直径已趋向极限。要制作更大尺寸的图片，必须放慢单晶提拉速度。速度的降低，势必增加热量...
Silicon Monocrystals Further Increasing in Diameter Increasing Difficulties Over the years, silicon single crystal diameters have expanded from 2 inches in diameter to 3 inches, 4 inches, 5 inches, 6 inches, 8 inches, and now 12 inches About to cool. In fact, the large diameter of the wafer has tended to the limit. To make a bigger picture, you have to slow down the single crystal pulling speed. Decreased speed, it is bound to increase the heat ...
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