【摘 要】
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一、引言离子束固体材料改性是核技术应用的一个重要方面。它是利用小型加速器将所需的离子加速并注入到材料的近表层,从而改变材料表层的物理、化学和机械性质的一种新技术
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一、引言离子束固体材料改性是核技术应用的一个重要方面。它是利用小型加速器将所需的离子加速并注入到材料的近表层,从而改变材料表层的物理、化学和机械性质的一种新技术,通常称为离子注入技术。国外在六十年代初,离子注入材料改性的研究是从半导体开始的。此后,利用离子
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