【摘 要】
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美国劳伦斯·利佛莫尔国立研究所利用两束激光成功地测量出超精加工金属和玻璃表面1埃的平面度。而以往的光学测量技术只能测到50～100埃的程度。在中心有孔的旋转工作台上置
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美国劳伦斯·利佛莫尔国立研究所利用两束激光成功地测量出超精加工金属和玻璃表面1埃的平面度。而以往的光学测量技术只能测到50～100埃的程度。在中心有孔的旋转工作台上置放一试样,试样的测量表面朝下。两束激光从工作台中心孔的下方通过,两束激光的偏振面互相垂直,光轴偏出一个极微小的角,经过分别聚焦后,便照射到试样上。让工作台旋转(2转/分),一方面,由于参考光束与转
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