新颖的Si_(1-x)Ge_x/Si异质结内光电发射长波红外探测器和焦平面阵列的发展

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：prodigyvip

【摘要】

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本文主要介绍新颖的Si_(1-x)Ge_x/Si异质结内光电发射长波红外探测器和焦平面阵列的现状、典型结构、性能参数及制备技术. This article mainly introduces the current sit

【作者】

：

程开富

【机构】

：

重庆光电技术研究所,

【出处】

：

光电子技术

【发表日期】

：

1992年01期

【关键词】

：

x)Ge_x/Si 焦平面阵列长波红外探测器阵列光电发射异质结截止波长林肯实验室均匀性喷气推进实验室

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本文主要介绍新颖的Si_(1-x)Ge_x/Si异质结内光电发射长波红外探测器和焦平面阵列的现状、典型结构、性能参数及制备技术. This article mainly introduces the current situation, typical structure, performance parameters and preparation technology of novel Si_ (1-x) Ge_x / Si heterojunction in-photoelectron emission longwave infrared detector and focal plane array.

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