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来源 :太阳能学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
利用化学气相沉积法,成功地制备了掺Sb的SnO_2织构膜,并对其电学、光学和结构特性,以及它们与工艺参数的关系进行了分析研究。在最佳工艺条件下,这种膜的方块电阻达10Ω/,直
【作 者】
:
崔松
庞大文
【机 构】
:
北京工业大学无线电系,北京工业大学无线电系
【出 处】
:
太阳能学报
【发表日期】
:
1989年3期
【关键词】
:
织构二氧化锡
透明导电膜
Heat TreatmentAnnealingSolar CellsSilicon
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