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电子背散射衍射技术是微区取向分析的强有利工具，它对试样表面状态要求严格。我们以低碳钢板为试验材料，通过电解抛光的方法对表面粗糙和变形层进行剥蚀，改变电解抛光的电压和时间，观察形貌和测定粗糙度，研究电解抛光工艺对样品表面形貌的影响。最终确定最佳的制备工艺为：电压12V，抛光时间40s，达到表面平整，粗糙度小。