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文章介绍了6英寸小规模科研生产线特气系统的系统组成,对日常特气系统的维护进行了分析与阐述,同时对特气系统的质量控制做了简要的分析。
小规模6英寸晶圆厂特气系统的维护与质量控制
【摘 要】
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文章介绍了6英寸小规模科研生产线特气系统的系统组成,对日常特气系统的维护进行了分析与阐述,同时对特气系统的质量控制做了简要的分析。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十四研究所
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2017年11期
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