LMBE法生长Mg0.2Zn0.8O及MSM型紫外探测器的制备

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong569

【摘要】

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采用激光分子束外延（LMBE）方法在蓝宝石（0001）面生长了高质量的Mg0.2Zn0.8O薄膜,并对薄膜在空气中900℃进行了1h的退火处理,然后采用剥离方法在薄膜表面制作了Al叉指电极,制备出M

【作者】

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毕臻张景文边旭明王东张新安侯洵

【机构】

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西安交通大学理学院,西安交通大学陕西省信息光子技术重点实验室,河南大学物理与信息光电子学院

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2007年8期

【关键词】

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Mg0.2Zn0.8O薄膜紫外探测器响应时间 Mg0. 2 Zn0. 8 O film ultraviolet photodetector respon

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采用激光分子束外延（LMBE）方法在蓝宝石（0001）面生长了高质量的Mg0.2Zn0.8O薄膜,并对薄膜在空气中900℃进行了1h的退火处理,然后采用剥离方法在薄膜表面制作了Al叉指电极,制备出MSM型Mg0.2Zn0.8O光电导紫外探测器.对响应时间的测试表明,探测器的上升时间仅为14.3ns,下降时间为6.5μs.

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