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【摘 要】
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介绍了VO2薄膜的相变原理，用磁控离子溅射法制备了VO2薄膜，并进行了X射线衍射和不同温度下的光谱透过率测量。在1．319μm连续波激光辐照下，实时测量了VO2薄膜的温度变化，以及由于
【机 构】
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中国工程物理研究院流体物理研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2006年5期
【基金项目】
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国家863计划项目资助课题.感谢中国科学院物理研究所冯克安研究员及其研究小组在氧化钒样品制备和测试中的帮助.
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