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对超微粒乳胶的基本性质，涂布工艺，光刻实验等进行了讨论。用超微粒乳胶光刻出直径为５０ｍｍ，刻线数３２７６８线对的小型高密度圆光栅。
用超微粒乳胶光刻高密度圆光栅
【摘 要】
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对超微粒乳胶的基本性质，涂布工艺，光刻实验等进行了讨论。用超微粒乳胶光刻出直径为５０ｍｍ，刻线数３２７６８线对的小型高密度圆光栅。
【机 构】
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重庆大学光机所
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1994年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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