【摘 要】
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随着集成电路的更大规模化，单位面积的电路功率也越来越大，随之要求的单位面积散热功率也越来越大，且已接近传统的空气强制对流冷却能力的极限（１００Ｗ／ｃｍ＾２），故迫切需要一种新型的芯片散热装置
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随着集成电路的更大规模化，单位面积的电路功率也越来越大，随之要求的单位面积散热功率也越来越大，且已接近传统的空气强制对流冷却能力的极限（１００Ｗ／ｃｍ＾２），故迫切需要一种新型的芯片散热装置来保证电路工作的可靠性。利用硅微加工技术，并参照人体循环系统，在硅片上制造了一种新型的微通道（通道直径为微米级）散热器，冷却流体则在通道中流动换热。该散热器由于是以硅片为原材料，故能方便地实现与芯片的一体化。且该散热器具有非常好的热有效性，散热能力达到３００Ｗ／ｃｍ＾２。该．产品也可用于解决台式机ＣＰＵ在笔记本中使用的
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