【摘 要】
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基于朗伯-比尔吸收定律,采用MEMS技术和集成化技术,设计了双通道补偿原理的MEMS红外瓦斯探测器。对红外瓦斯气体探测器的原理、红外探测的气室光路结构、系统的软硬件设计等
【机 构】
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中北大学电子测试技术国家重点实验室,仪器科学与动态测试教育部重点实验室,
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基于朗伯-比尔吸收定律,采用MEMS技术和集成化技术,设计了双通道补偿原理的MEMS红外瓦斯探测器。对红外瓦斯气体探测器的原理、红外探测的气室光路结构、系统的软硬件设计等作了详细的叙述。
Based on Lambert - Beer ’s law of absorption, a MEMS infrared gas detector with dual channel compensation principle is designed by using MEMS technology and integrated technology. The principle of the infrared gas detector, infrared detection of the gas chamber light path structure, the system hardware and software design made a detailed description.
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