【摘 要】
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采用脉冲叠加直流偏压电弧离子镀技术在硬质合金刀具表面制备TiCrNx薄膜,利用XRD,SEM,多功能材料表面性能测试仪等对TiCrNx薄膜进行表征。结果表明,TiCrNx与TiN薄膜相比,硬度
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采用脉冲叠加直流偏压电弧离子镀技术在硬质合金刀具表面制备TiCrNx薄膜,利用XRD,SEM,多功能材料表面性能测试仪等对TiCrNx薄膜进行表征。结果表明,TiCrNx与TiN薄膜相比,硬度有所下降。膜-基结合力与靶材阴极弧电流及偏压有关。
TiCrNx thin films were prepared on the surface of cemented carbide cutting tools by pulse superimposed DC bias arc ion plating technique. The TiCrNx thin films were characterized by XRD, SEM and multifunctional surface properties tester. The results show that, TiCrNx compared with TiN film, the hardness decreased. The film-substrate bonding force is related to the target cathode arc current and bias voltage.
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