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利用半导体工艺仿真工具 Silvaco TCAD 对局部氧化隔离技术进行了仿真，程序分为三部分：（1）进行器件仿真；（2）绘制 IV 曲线；（3）提取结电压。
局部氧化隔离技术的仿真
【摘 要】
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利用半导体工艺仿真工具 Silvaco TCAD 对局部氧化隔离技术进行了仿真，程序分为三部分：（1）进行器件仿真；（2）绘制 IV 曲线；（3）提取结电压。
【机 构】
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湖北理工学院
【出 处】
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当代旅游：下旬刊
【发表日期】
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2018年7期
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