具有自检测功能的闭环加速度计接口电路设计

• 作 者: 刘云涛 尹亮 陈伟平 吴群
• 机 构: 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨工程大学信息与通信工程学院,微系统与微结构制造教育部重点实验室
• 出 处: 光学精密工程
• 发表日期: 2009年6期
• 关键词: 加速度计 闭环控制 自检测 开关电容 接口电路 accelerometer closed loop control self-test switched-c
• 基金项目: Foundation item： Supported by the National Hi Tech Research and Development Program of China （863 Program）（Grant No. 2008AA042201）

为了改善微机电系统（MEMS）电容式加速度计的噪声特性，提出了一种基于开关电容的低噪声闭环接口电路。该电路采用电荷积分器作为前级预放大装置，对寄生电容不敏感，而且具有非常低的噪声。采用相关双采样（CDS）技术消除了1／f噪声和运算放大器失调电压的影响。同时，为了改善系统的动态响应特性，反馈部分采用积分电路，提高了系统阻尼比和响应速度。利用电荷泻放通道实现了自检测功能。采用0．5μmCMOS工艺完成了版图设计，仿真结果表明，系统灵敏度为0．115V／g，非线性度〈0．12％，可检测的最小加速度为20μg，自