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为了提高光控晶闸管的触发灵敏度,我们在器件的受光区表面蒸镀上一层SiO减反射膜,本文在理论上指出了SiO作为减反射膜所必须满足的条件,并在实验上对SiO膜的减反射效果进行了验证,结果表明:SiO膜的存在可使透射率由无膜时的0.68提高到0.94-1,光触发功率比无膜时减少了20-40%.