【摘 要】
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基于光学干涉的测量方法,通常都有高精度、高灵敏度的特点,信号易受环境干扰而不稳定,使用时须远离振源。若要将光学干涉系统用于在线检测,必须提高其抗干扰性。本文在以前的
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,珠海光库科技股份有限公司
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基于光学干涉的测量方法,通常都有高精度、高灵敏度的特点,信号易受环境干扰而不稳定,使用时须远离振源。若要将光学干涉系统用于在线检测,必须提高其抗干扰性。本文在以前的工作基础上,从干涉光路的实现方式着手,制作了一套一体化的迈克尔逊干涉装置,可用于多层光学平片的厚度检测。该装置通过巧妙的设计和高精密加工,使整个光路结构为一整体,避免了测量过程中外界干扰的影响。通过与光纤式迈克尔逊干涉系统做实验对比,验证了该装置在测试过程中有良好的稳定性和抗干扰性。最后采用宽带光源干涉的方法对多层光学平片的厚度进行测量,验证了
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