计及溅射损失的平行板静电场法离子引出和收集

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采用粒子模拟 MonteCarlo碰撞 (particleincell_MonteCarlocollision)方法研究了原子蒸气激光同位素分离工程中一维平行板静电场法离子引出和收集过程 ,记录引出离子的能量分布和角度分布 ,计算离子在收集板上造成的溅射损失 .模拟结果表明 ,增加引出电压可以缩短引出时间 ,降低碰撞损失 ,但是增加了溅射损失 ,使得收集率降低 ;增加电子温度可以缩短引出时间 ,提高收集率 ;增加初始等离子体密度将使引出时间增加 ,收集率降低 ;而目标同位素丰度较高的情况下 ,离子引出过程的碰撞损失率较低 ,收集率较高 .提出了一种平行板静电场的改进方法 ,大大降低了溅射损失 ,提高了收集率 . The ion-extraction and collection process of one-dimensional parallel plate electrostatic field in atomic vapor laser isotope separation project was studied by using particle-particle MonteCarl collision method. The energy distribution and angular distribution of extracted ions were recorded and the ions The simulation results show that increasing the extraction voltage can shorten the extraction time and reduce the collision loss, but increase the sputtering loss and reduce the collection rate. Increasing the electron temperature can shorten the extraction time and increase the collection rate. Increasing the initial plasma density will make The extraction time is increased and the collection rate is reduced, while the collision rate of ion extraction is lower and the collection rate is higher under the condition of high target isotope abundance. An improved method of parallel plate electrostatic field is proposed, Shot loss, improve the collection rate.
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