论文部分内容阅读
一、引言电子倍增微球板是一种无离子反馈、可在较低真空度下工作的新型电子倍增器。微球板中电子雪崩式倍增是在球间隙中进行的，从而起到阻碍离子运动的作用，达到保护光阴极的目的。由于其高增益、低噪声、动态范围大、能暴露于大气等特点，可以单独作为一个探测器，对电子、离子、真空紫外光子等各种带能粒子进行探测。现已普遍应用在粒子计数、粒子成像、飞行时间质谱、扫描电镜等。微球板的制备工艺大致可分为4个步骤：(1)玻璃微珠……