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采用改进的低温等离子体化学法,用无水TiCl_4在氧气氛中,制备了小于10nm非晶TiO_2超细粉末,通过XRD、TEM、TG-DTA和XPS等手段分析了反应条件对产物形态、粒径大小和组成的影响,研究了热处理条件与TiO_2晶化、晶型转变之间的关系,高于200℃时非晶TiO_2转化成具有锐钛矿结构的晶态。此外,还初步讨论了TiO_2超细粉末形成过程的动力学和电子辐照效应。