MEVVA离子源及其应用

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综述了MEVVA离子源在金属硅化物,磁性薄膜,准晶材料和表面复合材料的制备以及电催化,抗腐蚀,抗高温氧化,抗疲劳和磷酸盐玻璃抗风化等研究领域的应用。
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