【摘 要】
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传统地,MEMS红外探测器响应时间的测量需要基于黑体辐射源、斩波器、水冷装置等设备搭建一套复杂的测量系统,然而斩波器的遮挡区域和透光区域具有一定的面积,其按某频率工作
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中科院学院微电子研究所智能感知研发中心,江苏创芯海微科技有限公司,山西大学量子光学与光量子器件国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(61771467,51425505,51935011),中国科学院青年创新促进会(2018153),山西省“1331工程”重点学科建设基金,广东省重点领域研发计划项目(2019B010117001)
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传统地,MEMS红外探测器响应时间的测量需要基于黑体辐射源、斩波器、水冷装置等设备搭建一套复杂的测量系统,然而斩波器的遮挡区域和透光区域具有一定的面积,其按某频率工作时会消耗一定的时间,而测试所得的器件响应时间无法排除斩波器的工作耗时,导致测试结果存在较大误差,所测响应时间为14.46ms。为解决这一问题,提出了一种以钛宝石激光器为辐射光源,利用声光调制器构建纳秒级激光脉冲,MEMS红外探测器响应激光脉冲的作用输出脉冲电信号,很好地规避了测量系统中设备工作耗时引入的时间参数,所测响应时间仅为3.13ms。
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