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提出并分析了带反馈的马赫泽德新颖环形谐振腔结构.基于耦合模理论及传输矩阵,采用光强随有效折射率变化的方法对该结构进行分析,并通过优化结构参数,得出其具有陡峭的反对称法诺输出谱线.与传统的微环传感相比,法诺谐振的输出谱线更加尖锐,因此具有更低的探测极限.在信噪比为30dB的测量系统中,其探测极限达到10-9,比已报道的10-8降低了1个数量级.