【摘 要】
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激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在（5～43）m Pa的氧分压下制备并测试了一组HfO2薄膜。实验发现，当氧分压小于20 mPa时，薄膜弱吸收越大，损伤阈值越低；当氧分压大于20 m Pa时
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【基金项目】
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中国工程物理研究院设备能力提升课题;
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激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在（5～43）m Pa的氧分压下制备并测试了一组HfO2薄膜。实验发现，当氧分压小于20 mPa时，薄膜弱吸收越大，损伤阈值越低；当氧分压大于20 m Pa时，薄膜的损伤阈值与弱吸收并不一一对应，具有较高弱吸收的薄膜可能同时具有较高的损伤阈值。建立了缺陷模型，采用有限元法模拟了缺陷对弱吸收测量和损伤阈值测量的影响，分析了缺陷尺寸、密度、吸收系数对弱吸收和损伤阈值的影响。研究结果显示，吸收系数高于薄膜1000倍的缺陷可以降低薄膜的损伤阈值1000倍，却并不影响薄膜的弱吸收。缺陷对 HfO2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值测试有完全不同的影响，是导致某些薄膜弱吸收与损伤阈值背离的原因。
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