【摘 要】
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综述了目前较常用的制备TiO2薄膜的方法,包括溶胶-凝胶法、液相沉积法、化学气相沉积法、物理气相沉积法、电沉积法、喷雾热解沉积法、原子层沉积技术、离子自组装技术和水热
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综述了目前较常用的制备TiO2薄膜的方法,包括溶胶-凝胶法、液相沉积法、化学气相沉积法、物理气相沉积法、电沉积法、喷雾热解沉积法、原子层沉积技术、离子自组装技术和水热法等,并对各方法进行了比较。
The current methods of preparing TiO2 thin films are summarized, including sol-gel method, liquid phase deposition method, chemical vapor deposition method, physical vapor deposition method, electrodeposition method, spray pyrolysis deposition method, atomic layer deposition technique, Self-assembly technology and hydrothermal method, and the methods were compared.
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