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表述了ＤＦ激光波段采用ＣａＦ２和硅窗口减反射膜系的结果。分析了设计分层ＡＲ膜的方法并给出用ＺｎＳｅ／ＹｂＦ３和ＺｎＳ／ＹｂＦ３材料组合的双层和五层ＡＲ膜系，计算了各种膜系的理论性能。研究了膜层淀积工艺技术，对于ＣａＦ２和硅窗口，在ＤＦ激光波段实验透过率分别为９９．５４％和９９．８９％，镀ＡＲ膜ＣａＦ２窗口能承受４．３ｋＷ／ｃｍ＾２的连续波ＤＦ激光辐射。