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在室温下采用射频磁控溅射法在涤纶平纹织物上制备纳米银膜，利用原子力显微镜（AFM）分析不同溅射工艺参数对纳米银膜表面形态、颗粒直径的影响，同时研究了不同溅射工艺参数对银膜导电性能的影响。实验表明：随溅射功率增加，Ag粒子直径增大，导电性能先减弱后明显增强；随气体压强增大，Ag粒子直径变小，银膜的导电性能下降；随镀膜时间的延长，Ag粒子直径增大，银膜导电性明显增强，在溅射时间达到15min时银膜导电性能最佳。