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来源 :世界产品与技术 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
<正> 硅压力传感器发展的一个重要趋势,是向高灵敏度的微压传感器发展。1993年我们率先采用微机械的梁膜结构制得PT-24量程lkpa微压传感器。但在进一步提高灵敏度的研究过程
【作 者】
:
沈绍群
孙立镌
等
【机 构】
:
复旦大学电子工程系传感器研究室,哈尔滨理工大学计算机应用技术研究所
【出 处】
:
世界产品与技术
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
微压传感器
压力传感器
梁膜结构
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