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纳米压入试验已经成为微尺度材料力学性能测试的重要方法。分析了3种代表性的弹性模量纳米压入识别方法—Olive-Pharr方法、Cheng-Cheng方法和Ma方法的有效性,并通过有限元数值模拟分析了这3种方法的测试精度和对仪器柔度标定误差的敏感性。结果表明：Ma方法适应性更强,同时具有更高的测试精度和更低的仪器柔度标定误差敏感性。