【摘 要】
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矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十四研究所
【基金项目】
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海洋公益行业科研专项基金资助项目(201305028).
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矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息。内部集成了HTCC调理电路,能够有效降低传感器耦合噪声,提高检测信号的信噪比。通过驻波管计量,MEMS复合式水听器的工作频率范围为20~1000Hz,矢量振速通道灵敏度为-170.5dB@1kHz,标量声压通道灵敏度为-174.7dB@1kHz。通过内嵌电路,信噪比提高了15dB。
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