200吨/年多晶硅装置工程设计

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山东鼎昌硅业科技有限公司根据市场需要新建一套200吨/年太阳能级多晶硅生产装置。该装置采用改良西门子工艺,主要包括三氯氢硅提纯部分、干法回收部分、多晶硅还原与后处理部分以及配套的纯水、氮气、导热油等辅助系统。
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